微立方结构阵列间距对场发射影响  

The Effect of Array Space of Micro Cube Structure on Field Emission

作　　者：霍海波[1] 麻华丽[1] 丁佩[1] 曾凡光[1] 

机构地区：[1]郑州航空工业管理学院数理系,郑州450015

出　　处：《固体电子学研究与进展》2015年第1期31-34,共4页Research & Progress of SSE

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51072184;61274012);河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目(2011GGJS-140);郑州市科技局普通科技攻关计划项目(141PPTGG389)

摘　　要：在3D基底上制备CNT薄膜可以提高碳纳米管的场发射能力,基底微结构的形貌、尺寸、间距等参数都对碳纳米管的场发射有直接的影响。利用有限元分析软件ANSYS模拟了微立方阵列结构,微立方结构的尺寸为20μm×20μm×20μm(长×宽×高),得到了微立方结构上表面的电场分布,计算了阵列间距和上表面面积不同时的电场分布。依据F-N方程,采用离散化的方法,定量地分析了阵列间距对冷阴极场发射电流的影响,发现该微结构在阵列间距为100μm时场发射电流达到最大值。The field emission ability is improved by the preparation of carbon nanotubes（CNTs）on the 3Dsubstrate.The micro topography、size、array space and other parameters of substrate have direct influence on the field emission of CNTs.The micro cube array structure is simulated by the finite element analysis software ANSYS.The micro cube structure size is 20μm×20μm×20μm（length× width× height）,and the electric field distribution of the micro cube structure surface is calculated.The electric field distribution varying with the different array spaces and surface areas is simulated.According to F-N equation,the field emission current of the micro cube structure surface varying with different array spaces is analyzed by the discrete method.The field emission current could reach the maximum value when the array space is 100μm.

关 键 词：微立方 有限元 阵列间距 

分 类 号：TB43[一般工业技术]