软X射线光学表面散射检测  

Surface scattering of soft X-ray optics

作　　者：陈淑妍[1] 康崇[1] 张杨[1] 邢键[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工程大学物理实验中心,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《物理实验》2015年第1期5-9,共5页Physics Experimentation

基　　金：哈尔滨工程大学实验教学改革与实验技术研究立项项目(No.SYJG20131106)

摘　　要：应用自行研制的软X射线反射率计,分别对不同的反射镜样品,在不同的工作波段以及掠射角下研究了软X射线波段掠入射光学表面的散射.实验结果表明:掠射角增加,波长减小,粗糙度增加,软X射线掠入射表面散射程度加重.The soft X-ray scattering distributions of several mirrors were measured by a self-made soft X-ray reflectometer for different wavelengths and grazing angles.The experimental results indicated that the soft X-ray surface scattering increased with increasing grazing angle and surface roughness,but decreased with increasing wavelength.

关 键 词：软X射线 表面散射 表面粗糙度 掠入射 

分 类 号：O434.1[机械工程—光学工程]