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作 者:彭程[1] 孙静[1] 石志霞[1] 张碧田[1] 王星明[1] 段华英[1]
机构地区:[1]北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京100088
出 处:《金属功能材料》2015年第1期38-43,共6页Metallic Functional Materials
摘 要:采用固相合成法制备了铝酸镧光学镀膜材料,其物相组成为LaAlO3与LaAl11O18。通过改变电子束物理气相沉积(EB-PVC)法淀积铝酸镧薄膜时的工艺条件,得出了薄膜的折射率及消光系数随淀积工艺的变化情况。在可见光范围内,膜层的折射率随工艺的不同在1.65~1.8之间变化,消光系数在10^-4数量级;光学性能优异,具有很好的应用前景。Lanthanum aluminate optical coating material was prepared by solid state synthesis,the phase composition is LaAlO3 and LaAl11O18.The film was obtained by EB-PVD.Optical properties of refractive index and extinction coefficient were researched with the changed of depositing conditions.In the visible region,the refractive index is in the range of 1.65 to 1.8with the change of depositing processes,and the extinction coefficient is in the magnitude order of 10^-4.The material has a promising prospect in industrialization in optical coating due to its superior qualities.
关 键 词:光学镀膜材料 固相法 铝酸镧 EB-PVC 折射率
分 类 号:TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]
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