MEMS传感器现状及应用  

作　　者：武金亮 周琦[1] 高晓宇[1] 胡梦晴 秦东林[1] 

机构地区：[1]杭州电子科技大学,浙江杭州310018

出　　处：《通讯世界（下半月）》2015年第2期207-207,共1页Telecom World

摘　　要：随着我国科技的不断进步,MEMS传感发展迅猛,在各个领域内得到广泛应用。再次情况下,本文阐述了MEMS技术的特点,分析了其在各领域内的具体应用情况,并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。

关 键 词：微电子机械系统(MEMS) 传感器 应用 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]