TEM原位光电双功能样品杆改造及电源系统优化设计  

The Photoelectric Dual Function Transformation of TEM In Situ Sample Rod and It's Power System's Optimization Design

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作  者:张师斌 杨力[1] 韩海霞[1] 董辉[1] 徐峰[1] 

机构地区:[1]东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096

出  处:《电子器件》2015年第2期231-235,共5页Chinese Journal of Electron Devices

基  金:国家自然科学基金项目(61106055;51372039);中国博士后科学基金项目(2014M550259);中央高校基本科研业务费项目(2242013R30004;2242014K40031)

摘  要:为了研制用于透射电子显微镜(TEM)的光学和电学双功能原位测试样品杆,在理解国外进口电学原位样品杆电路和电极结构的基础上,引入微型LED芯片作为发光源对其进行光电双功能升级改造,并通过优化光电双功能基片供电电源系统以保障TEM清晰成像。测试结果表明,利用自制的基片供电电源,改造后的电学测试样品杆能同时测试样品的光学和电学特性,且透射电子显微镜成像清晰稳定。In order to develop a transmission electron microscope sample rod for optical and electrical dual situtest,we upgrade an imported electrical sample rod to make it possible to simultaneously measure light-electrical characteristics of the sample by introducing pico LED chips as the light source based on the circuit design and electrode structure of the sample rod. And we also optimize the optical-electrical substrate power supply system to ensure the quality of TEM imaging. Test results show that the transformed sample rod works well and the image of the sample is clear and stable with the substrate power supply system.

关 键 词:透射电子显微镜 原位样品杆 光电双功能基片 基片供电电源 

分 类 号:TN16[电子电信—物理电子学]

 

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