紫外光固化在微流控芯片技术中的应用研究进展  

Review of UV Curing on Microfluidic Chip Technology

作　　者：李娜[1,2,3] 曹一平[2,3] 张玮莹[3] 刘继延[1,2,3] 尤庆亮[1,2,3] 于洁[1,2,4] 申超[1,5] 郭文勇[1] 

机构地区：[1]江汉大学柔性显示材料与技术湖北省协同创新中心,湖北武汉430056 [2]江汉大学光电化学材料与器件省部共建教育部重点实验室,湖北武汉430056 [3]江汉大学化学与环境工程学院,湖北武汉430056 [4]华烁科技股份有限公司,湖北武汉430074 [5]武汉天马微电子有限公司,湖北武汉430079

出　　处：《江汉大学学报（自然科学版）》2015年第2期133-137,共5页Journal of Jianghan University：Natural Science Edition

基　　金：光电化学材料与器件省部共建教育部重点实验室开放课题(JDGD-2013-16)

摘　　要：报道了紫外光(UV)固化在微流控芯片技术中的应用,利用光刻技术可直接在聚合物材料上制作微通道,以减少微流控芯片的研究成本和制作周期。重点介绍了UV固化在微流控芯片发展过程中的光刻、曝光及表面改性等方面的应用及其特点,综述了近些年来UV固化在微流控芯片技术中的国内外研究现状,为微流控芯片的制备、发展及完善提供了一条可行的路径。最后在总结国内外研究现状的基础上展望了UV固化未来的发展趋势。Reports the application of UV curing process in the microfluidic technology. The microchannelof polymer materials can be directly fabricated through the lithography technology, resulting in thereduction of research cost and fabrication period. Introduces the applications and its characteristics of UVcuring process in the development of microfluidic chips such as lithography,exposure and surfacemodification. Reviews the domestic and overseas research actuality of UV curing process,providing afeasible routine for the fabrication, development and improvement of microfluidic chips. Potentialdeveloping tendency is also pointed out according to the research actuality.

关 键 词：UV固化 微流控芯片 研究现状 PDMS 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化] TN3[电子电信—物理电子学]