对向异材磁控溅射靶制备合金薄膜工艺方法  

出　　处：《科技开发动态》2001年第8期44-45,共2页R&D Information

关 键 词：对向异材磁控溅射靶制备 合金薄膜 工艺方法 

分 类 号：TB43[一般工业技术]