功率谱密度指导超光滑镜面加工  

PSD guided ultra-smooth mirror finishing

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作  者:杨晋[1,2] 尹禄[1,2] 姚雪峰[1] 

机构地区:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033 [2]中国科学院大学,北京100049

出  处:《长春工业大学学报》2015年第1期44-47,共4页Journal of Changchun University of Technology

基  金:国家重大科学仪器设备开发专项项目(11YQ120023)

摘  要:根据双向反射分布函数反演功率谱密度,利用得到的功率谱密度函数指导镜面加工,理论推导结果合理,已经用于实际镜面加工。Power spectral density, being deduced according to bidirectional reflectance distributionfunction, is used for guiding mirror finishing. The method is proved with theoretical derivation and has been applied to mirror finishing.

关 键 词:功率谱密度 双向反射分布函数 镜面加工 

分 类 号:O411.3[理学—理论物理]

 

参考文献:

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