常温下氧化钨基NO_2传感器气敏特性的光照强度依赖研究  

Study on interdependence between light intensity and sensitive performances of UV-activated WO_3-based NO_2 gas sensors at room temperature

作　　者：张颖[1] 林慧雄 李静玲[2] 周赢武[1] 陈曦矅 余华梁[1] 

机构地区：[1]闽江学院电子系,福建福州350108 [2]福建工程学院环境工程系,福建福州350108

出　　处：《传感器世界》2015年第4期14-18,共5页Sensor World

基　　金：福建省省属高校科研专项基金(项目编号:JK2011039);闽江学院院课题项目基金(项目编号:YKY13003;YKQ1102);福建省大学生创新项目基金(项目编号:mjcx1117;mju201410395071)

摘　　要：为了研究WO3的常温气敏性能，以热氧化钨丝的方法制备WO3纳米材料并制作厚膜气敏元件，通过XRD对材料的晶体结构进行表征，对敏感元件进行了气敏性能测试，测得该元件在常温、0．4W／cm^2紫外光（波长：300-450nm）辐照条件下对50Dpm的NO2的灵敏度s=15．4，响应时间k=2．5s，恢复日寸间k=18．1s；在加热功率为0．81W条件下，元件对50ppmNO2的灵敏度为S=22．5，响应时间k=1．5s，恢复时间k=10．7s，研究了灵敏度对光功率密度和加热功率的依赖关系，实验结果表明WO3纳米材料在常温、紫外光照条件下对NO2具有较好的气敏性能。In order to study NO2 sensitivity of WO3 at room temperature, a type of thick-film NO2 gas sensor is fabricated with WO3 nanoparticle material produced by thermal oxidation of tungsten filament. The microstructure of WO3 nanoparticle material is analyzed with XRD and the gas-sensitive properties are tested. Under the conditions of violet ray radiation （wave length： 300-450nm） and room temperature, the parameters of the sensitive cell for 50ppm NO2 are got with gas sensitivity of 15.4, response time of 2.5s and recovery time of 18.1s （S=15.4, rres=2.5s τrec= 18.1 s ）. The contrastive tests are also done under 0.81W thermal power and the results are S=22.5,τrec=1.5s and τrec=10.7s. The experiment results show that WO3-based gas sensor has good gas-sensitive properties for NO2, under violet ray radiation at room temperature .

关 键 词：WO3 纳米材料 气敏特性 紫外光照 常温 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]