同步辐射红外谱学显微光束线站的空间分辨率测试  

Spatial Resolution Measurement of Synchrotron Radiation Infrared Microspectroscopy Beamline

作　　者：朱化春[1] 佟亚军[1] 吉特[1] 彭蔚蔚[1] 张增艳[1] 陈敏[1] 肖体乔[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海应用物理研究所上海光源,上海201204

出　　处：《光学学报》2015年第4期396-400,共5页Acta Optica Sinica

基　　金：国家自然科学基金(11475252);国家自然科学基金青年基金(11405258)

摘　　要：同步辐射红外光源具有宽光谱范围、高准直性、高亮度等特点。相比于传统的红外热光源,同步辐射红外光源的尺寸非常小,空间分辨率可达到衍射极限。为了得到准确的空间分辨率信息,对上海光源BL01B1红外谱学显微光束线站的空间分辨率进行了测试。使用刀片法和鉴别率板对上海光源BL01B1红外谱学显微光束线站水平和垂直方向的空间分辨率进行了详细测量,两种测试方法的结果都表明在所测的中红外波段,同步辐射红外谱学显微技术的空间分辨率达到衍射极限,与理论值十分符合。Infrared synchrotron radiation provides considerable brightness advantages over conventional infrared sources in a wide wavelength range, allowing the spatial resolution to reach the diffraction limit. Spatial resolution of BL01B1 infrared microspectroscopy beamline station in Shanghai Synchrotron Radiation Facility（SSRF） is tested.Step-edge method and resolution target bar method are used to measure the spatial resolution of the infrared microspectroscopy beamline BL01B1. The experimental results show that the spatial resolution of this infrared microspectroscopy beamline station and the diffraction limit theory are comparable in the middle infrared region.

关 键 词：光谱学 同步辐射红外 谱学显微 衍射极限 空间分辨率 

分 类 号：O434.3[机械工程—光学工程] O433.1[理学—光学]