全固态高效率射频电源  

作　　者：吴宗[1] 陈奕旋 

机构地区：[1]中山职业技术学院 [2]中山市大学生创业孵化基地

出　　处：《信息系统工程》2015年第4期65-65,共1页

摘　　要：射频电源(RF)是目前微电子器件的核心部件,它的性能直接关系到整个设备的性能。固态射频电源使用的功率放大器是E级的MOSFET,它是通过阻抗来匹配网络的,射频电源(RF)可以在500W的额定功率下达到百分之八十四的功率转换效率,血浆微电子设备真空腔室起动的阻抗变化范围是非常大,非常快的。目前,最快的MKS自动匹配装置也很难达到反射要求,所以该固态射频电源在500W功率时反射时间必须在5秒以上。本文介绍的固态射频电源完全满足上述要求。

关 键 词：全固态 高效率 射频电源 

分 类 号：TN86[电子电信—信息与通信工程]