金刚石电沉积绞合线锯的开发研究  

作　　者：唐营[1] 杨乐乐[1] 王前进[1] 杨晓军[1] 

机构地区：[1]河南黄河旋风股份有限公司,河南许昌461500

出　　处：《中国新技术新产品》2015年第12期50-50,共1页New Technology & New Products of China

摘　　要：现阶段,在制造集成电路的基地用硅片的过程中,利用多线锯切切割。然而多线锯切的切割性能会受到悬浊液的实际供应情况的影响,并且存在着加工精度不足、加工效率偏低等问题。所以为了全面改进切割加工法,利用金刚石沉积绞合线锯,提高其使用寿命。笔者从分析金刚石电沉积绞合线路的设计思路入手,研究了金刚石电沉积绞合线锯的具体制作方式和切割性能,针对金刚石电沉积绞合线锯的开发进行探讨。

关 键 词：金刚石 绞合线锯 电沉积 

分 类 号：TG717[金属学及工艺—刀具与模具]