离子源复合真空镀膜成套装备、工艺及应用  

作　　者：代明江[1,2] 林松盛[1,2] 董骐 侯惠君[1,2] 周克崧[1,2] 刘敏[1,2] 罗蓉平 韦春贝[1,2] 胡芳[1,2] 林凯生[1,2] 田俊瑞 肖晓玲[1,2] 李福球[1,2] 朱霞高[1,2] 石倩[1,2] 赵利[1,2] 

机构地区：[1]广州有色金属研究院 [2]北京丹普表面技术有限公司

出　　处：《中国科技成果》2015年第10期46-47,共2页China Science and Technology Achievements

摘　　要：随着我国加工制造业的发展，对高性能薄膜的需求与日剧增。我国在真空镀膜行业，目前更多的应用都集中在装饰方面，对能有效地提高关键部件使用寿命机械功能薄膜的制备设备、工艺及应用研究方面还远远落后于国外先进水平。同时，装饰镀方面也逐渐向耐磨和装饰双重功能的方向发展，之前的离子镀装备已出现不能满足高档装饰镀要求的问题。为此，广州有色金属研究院联合北京丹普表面技术有限公司进行离子源复合真空镀膜装备、工艺及应用的研究，以期提高我国装备制造业的技术水平和促进我国真空离子镀的技术发展。

关 键 词：成套装备 真空镀膜 离子源 应用 工艺 复合 广州有色金属研究院 真空离子镀 

分 类 号：TQ174.1[化学工程—陶瓷工业]