硅-有机材料混合电光调制器的原理及研究进展  

Principle and Progress of Silicon-Organic Hybrid Electro-Optic Modulators

作　　者：齐影[1] 安俊明[1,2] 王玥[1] 张家顺[1,2] 王亮亮[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083 [2]河南仕佳光子科技有限公司,河南鹤壁458030

出　　处：《激光与光电子学进展》2015年第7期31-39,共9页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家自然科学基金(61274047);国家自然科学基金重点项目(61435013);国家自然科学青年基金(61307034)

摘　　要：硅-有机材料混合(SOH)集成平台通过结合绝缘层上硅(SOI)波导和功能有机非线性材料打开了高速、超紧凑电光器件的发展之路。目前,基于SOH平台的电光调制器频率响应带宽可达100 GHz,在能耗仅为640 f J/bit时,数据传输速率可达112 Gbit/s。介绍了SOH集成平台,针对目前主要的SOH电光调制器类型,如马赫-曾德尔干涉仪型SOH电光调制器、SOH同步/正交相位型(IQ)电光调制器、微环型SOH电光调制器等,介绍了其工作原理、基本特性及国内外发展状况和趋势。Silicon-organic hybrid （SOH） platform combined with silicon-on-insulator （SOI） waveguides and the functional organic nonlinear materials opens a route to highly-speed ultra-compact electro-optic devices. Recently, bandwidth of frequency responses of modulators based on SOH is up to 100 GHz, and enabled operation is up to 112 Gbit/s with an energy consumption of 640 fJ/bit. Main SOH electro-optic modulators, such as the Mach-Zehnder interferometer （MZI） modulator, in-phase/quadrature-phase （IQ） modulator and mcroring-resonator modulator, are introduced. Meanwhile, the design principle, characteristics and research status of the modulators are illustrated.

关 键 词：光学器件 硅-有机材料混合平台 光学调制器 调制电压 调制速率 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]