新型FEB测长仪CD-SEM CG6300发布  

作　　者：日经 

出　　处：《军民两用技术与产品》2015年第15期35-35,共1页Dual Use Technologies & Products

摘　　要：日立高新技术公司发布了FEB（场发射电子束）测长装置的新产品——CD—SEM CG6300测长仪，可满足7nm工艺元件开发和10nm工艺元件量产的工艺控制需求。与原CG5000机型产品相比，该新型测长仪采用了新的电子光学系统，提高了分辨率，具有良好的测长重复性。

关 键 词：测长仪 FEB 工艺控制 电子光学系统 测长装置 高新技术 SEM 电子束 

分 类 号：O463.1[机械工程—光学工程]