电阻型薄膜气敏传感器突破生化战剂可检测最低浓度  

出　　处：《传感器世界》2015年第8期41-41,共1页Sensor World

摘　　要：发展用于高端领域的质优价廉的高性能气敏器件，一直是人们所追求的目标与面临的挑战。上海微系统与信息技术研究所的一个研究小组提出了一种微纳融合的策略，将基于有机模板的微／纳结构有序多孔薄膜与基于微电子机械加工（MEMS）技术的微型基板相结合，成功地研制出高性能电阻型薄膜气敏器件，

关 键 词：多孔薄膜 电阻型 气敏传感器 最低浓度 生化战剂 微电子机械加工 检测 气敏器件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]