Ta_2O_5材料光学常数的拟合及其应用（英文）  

Optical Constants Fitting and Application of Ta_2O_5

作　　者：庄秋慧[1,2] 刘国军[3] 付秀华[1] 

机构地区：[1]长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022 [2]重庆理工大学电子信息与自动化学院,重庆400050 [3]长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林长春130022

出　　处：《激光与光电子学进展》2015年第9期243-246,共4页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家自然科学基金(51275551)

摘　　要：Ta2O5作为高折射率材料有着广泛的应用,由于具有不同的色散和吸收,以及不同的工艺条件,Ta2O5材料的光学常数会出现差异。介绍了一种采用电子枪蒸发并加以离子束辅助技术制备Ta2O5薄膜的方法,实验基于柯西模型(Cauchy Model)对Ta2O5薄膜在近紫外到近红外的光学常数进行了拟合,并说明了Ta2O5材料在短波通滤光片中的应用。Ta2O5 is widely used as a kind of high refractive index film material. The optical constant is vary because of dispersion and absorption as well as different technological conditions. A kind of using electron gun of fabrication of thin film evaporation and ion beam assisted method is introduced. The test based on the Cauchy model of the films in the near ultraviolet to near infrared optical constants are fitted, and illustrates the application of the material in short wavelength pass filter.

关 键 词：材料 光学材料 光学常数 薄膜 拟合 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]