低驱动电压RF MEMS开关设计过程中的有限元分析  

Design and Simulation of a Low Voltage RF MEMS Switch

作　　者：伍文昌[1] 胡宜芬[1] 

机构地区：[1]信阳职业技术学院汽车学院,河南信阳464000

出　　处：《新乡学院学报》2015年第9期53-55,63,共4页Journal of Xinxiang University

摘　　要：介绍了RF MEMS开关的工作原理和基本结构,给出采用Ansys有限元分析方法仿真RF MEMS开关的流程及方案。对一种新型的低驱动电压RF MEMS开关,使用Ansys有限元软件进行分析:静态分析求解开关的下拉电压,动态分析得到开关时间,并给出该开关的应用实例。This paper first introduced the principle of RF MEMS switch, then, the simulation of RF MEMS switch by using Ansys finite element analysis method. It carried out the static analysis to solve the drop-down voltage and the dynamic analysis of the switching time. Finally, it cited an example of the low driving voltage RF MEMS switch.

关 键 词：RF MEMS开关 ANSYS有限元 低驱动电压 开关时间 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]