基于混合微电路工艺的多芯片集成双轴磁传感器模块  

Multichip Integrated Dual-axis Magnetic Sensors Module Based on Hybrid Microcircuit Process

作　　者：张君利 周晓丹 薛海英 曹彪 

机构地区：[1]华东光电集成器件研究所,江苏苏州215163

出　　处：《仪表技术与传感器》2015年第8期7-9,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：采用混合微电路工艺,设计了一种基于陶瓷互连基板及封装的多芯片集成(MCM-C)模块,将全固态双轴磁阻传感器及信号处理芯片等集成为微型化、高可靠的传感器模块。模块分别以16位串行数字量输出Y、Z向磁场检测结果,可以直接与各类微处理器接口进行实时数据交换。A multichip integrated module was designed by hybrid microcircuit process based on ceramic substrate （ MCM-C） technology.This minimized and reliable sensor module consists of magnetoresistive sensor chip and signal processing chips.The module outputs magnetic field test results in the y and z direction in 16 bit serial data.It can exchange real-time data directly with all kinds of microprocessor interface.

关 键 词：混合微电路 多芯片集成 MCM-C 磁阻传感器 

分 类 号：TM452[电气工程—电器]