双波长红外测温仪仿真校准的应用探讨  

Discussion on the Application of Dual Wavelength Infrared Thermometer Simulation Ccalibration

作　　者：彭富华[1,2] 

机构地区：[1]昆明冶研新材料股份有限公司 [2]云南省电子硅材料制备企业重点实验室,云南曲靖655011

出　　处：《计量与测试技术》2015年第9期55-56,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：根据双波长红外测温仪在现场使用中,按照工艺参数进行温度控制时产品质量不稳定、质量不太好的情况进行分析发现:测温探头发射的红外线是经过视窗及视窗内的脱盐水后测量炉体内的物料温度的,而红外测温仪实验室校准时是直接测量黑体炉温场的温度。经过实验室复现现场测量条件仿真校准,裸视校准和仿真校准存在较大的温度差,对裸视校准和仿真校准进行大量的校准数据比较绘制温度修正曲线应用于生产控制进行探讨。

关 键 词：双波长红外测温仪 视窗 黑体炉 仿真校准 温度修正曲线 

分 类 号：TH811[机械工程—仪器科学与技术]