CG6300系列FEB测长仪 日立高新技术公司  

出　　处：《传感器世界》2015年第9期39-40,共2页Sensor World

摘　　要：日立高新技术公司发布了FEB（Field Emission Beam，场发射电子束）测长装置的新产品CG6300。该机型可满足7nm工艺元件开发和10nm工艺元件量产时的工艺控制需求，预定2015年10月开始销售。

关 键 词：测长仪 FEB 工艺控制 高新技术 测长装置 电子束 场发射 可满足 

分 类 号：TN06[电子电信—物理电子学]