微小型质谱仪的新型MEMS离子阱研究  

Research on MEMS Ion Trap for Micro Mass Spectrometer

作　　者：肖军徽 黄刚[2] 李铁[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所,海200050 [2]中国航天科研训练练中心,京100094 [3]中国科学院大学,北京100049

出　　处：《现代科学仪器》2015年第4期41-45,共5页Modern Scientific Instruments

基　　金：国家自然基金（21175121）

摘　　要：微小型离子阱质谱仪凭借其优异的分辨率、准确度以及灵敏度在危险检测、环境以及食品安全检测、临床研究等方面有着广泛的应用.针对国际上MEMS小型离子阱制备存在对准难度高、端盖表面翘曲等的问题,提出了一种采用三层硅片键合的圆柱形离子阱的制备方法,将分离制备的端盖电极与端盖电极进行键合,以降低制备难度和对准精度要求,解决翘曲问题,同时提升器件结构尺寸的可操纵性,对制备过程中的金-金键合工艺进行优化,为未来微小型化质谱仪的应用奠定了良好的基础.Mass spectrometer is widely used on airport security, environmental, food safety monitoring,clinical research due to its resolution,accuracy, sensitivity.A new fabrication method for ion trap which is the key component of mass spectrometer based on MEMS technology is presented to solve the problem of alignment and warping.Refer to articles worldwide about micro ion trap,the process is simpler and can be easily achieved.Optimize the Au-Au bonding and make a good foundation of micro mass spectrometer.

关 键 词：离子阱 质谱仪 小型化 

分 类 号：O657.65[理学—分析化学]