Si基微环谐振腔化学传感检测方法研究  

Study on chemical sensing detection method for Si-based micro-ring resonator

作　　者：雷龙海 唐军[1,2] 张天恩[1,2] 郭浩[1,2] 刘俊[1,2] 

机构地区：[1]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051 [2]中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原030051

出　　处：《传感器与微系统》2015年第10期32-34,47,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家重点基础研究发展计划资助项目(2012CB723404);国家杰出青年科学基金资助项目(51225504);国家自然科学基金资助项目(61171056;91123016;51105345);山西省优秀青年学术带头人资助项目

摘　　要：提出了一种非标记光化学传感检测方法:光波导谐振谱检测,通过感应环形波导表面有效折射率变化进行化学传感;理论分析,并结合光学测试系统,利用此方法实现了微环谐振腔结构对Na Cl离子、结晶紫分子溶液的在线浓度测量,实验得到:其检测灵敏度分别达181.47 pm/10-2,227 nm/(mol·L-1),证明了该方法可以应用于化学溶液检测领域。A label-free optical waveguide resonance spectroscopy chemical sensing detection method via inducing the change of effective refractive index of the surface of waveguide based on micro-ring resonator is presented.Through theoretical analysis and optical test system,using this method realizes measurement of the concentration of Na Cl and crystal violet solution. The detection sensitivity of 181. 47 pm /10- 2and 227 nm /（ mol·L- 1）,respectively,are achieved experimentally,which proves this method can be applied in the field of chemical solution detection.

关 键 词：光波导谐振谱 微环谐振腔 化学传感器 非标记检测 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学] TN815