纳米复合薄膜的制备及其应用研究  

Preparation and Application of Nano-composite Thin Films

作　　者：张汪年[1] 邓宁[1] 赵鑫[1] 杨思涵 郑涛[1] 

机构地区：[1]九江学院机械与材料工程学院,江西九江332005

出　　处：《合成材料老化与应用》2015年第5期126-128,共3页Synthetic Materials Aging and Application

摘　　要：纳米复合薄膜材料不仅具有传统复合材料高性能特点,同时还拥有现代纳米材料优点,正逐渐成为纳米材料的重要分支,而越来越引起更多的重视和广大的研究。该文全面介绍了纳米复合薄膜的发展历史、不同的制备方法、优良的性能及其未来的应用前景。特别介绍了离子体化学气相沉积技术(PCVD)、溶胶-凝胶法(sol-gel)、溅射法(Sputtering)以及热分解化学气相沉积技术(CVD)方法及各自的特点。提出了纳米复合薄膜材料研究的关键问题以及今后的发展方向。Nanocomposite thin films not only have a tradition of high-performance composite material characteristics,but also has the advantages of modern nano materials,is becoming an important branch of nano-materials,while more and more attention and caused more extensive research. This paper describes the development of a comprehensive history of nanocomposite films,different methods of preparation,excellent performance and its future prospects. A special presentation on the plasma chemical vapor deposition（ PCVD）,sol-gel method（ sol-gel）,sputtering（ Sputtering） and thermal decomposition of chemical vapor deposition（ CVD） methods and their characteristics. It presents key issues and future directions nanocomposite film materials research.

关 键 词：纳米复合 薄膜制备 薄膜应用 

分 类 号：TB331[一般工业技术—材料科学与工程]