热处理对LaMnO_3薄膜结构、成分和电阻率的影响  

Effect of Heat Treatment on Phase Structure,Composition and Resistivity of LaMnO_3 Film

作　　者：席博[1] 张国庆[1] 罗永春[1,2] 

机构地区：[1]兰州理工大学材料学院,兰州730050 [2]兰州理工大学有色金属先进加工与再利用省部共建国家重点实验室,兰州730050

出　　处：《有色金属（冶炼部分）》2015年第11期51-54,共4页Nonferrous Metals（Extractive Metallurgy)

基　　金：国家自然科学基金资助项目(21063008)

摘　　要：用射频磁控溅射法在Si（100）衬底上沉积了钙钛矿型LaMnO3氧化物薄膜,系统研究了热处理对LaMnO3薄膜材料的相结构、组织成分、表面形貌、电阻率等的影响。结果显示,热处理温度在700℃以下,LaMnO3为非晶态,而高于1 000℃时,LaMnO3组织开始分解,出现杂相;在800~900℃时,随着热处理温度和时间的变化,LaMnO3薄膜各性能也相应变化;而热处理参数为800℃/2h时,钙钛矿型LaMnO3氧化物薄膜各性能显示最佳。Perovskite-type LaMnO3 oxide film was prepared by RF magnetron sputtering on Si （100） substrate. The effect of heat treatment on phase structure, composition, morphology, and resistivity was investigated. The results show that LaMnO3 organization starts to decompose when amorphous state annealed at 700 ℃ below and presents impurity phase when annealed at 1 000 ℃ above, while performance of LaMnO3 film changes with temperature and time when annealed at 800 - 900 ℃. Perovskite-type LaMnO3 oxide film shows the optimal performance when annealed at 800 ℃ for two hours.

关 键 词：射频磁控溅射 钙钛矿型LaMnO3薄膜 热处理 电阻率 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]