提高甲苯气体厚膜气敏元件灵敏度的研究  

作　　者：王笑天[1] 傅刚[1] 刘志宇[1] 高升谦 

机构地区：[1]广州大学物理与电子工程学院,广东广州510006

出　　处：《科技创新导报》2015年第23期20-21,共2页Science and Technology Innovation Herald

摘　　要：采用溶胶-凝胶方法制备了掺Sb和Pt的SnO2以及WO3纳米级气敏材料,通过厚膜印刷技术制备了SnO2气敏元件和WO3-SnO2双层结构的气敏元件。测量了元件对低浓度甲苯以及乙醇、丙酮气体的气敏性能。测量结果表明,SnO2单层元件对乙醇气体敏感,乙醇气体浓度为100×10-6时元件的灵敏度为45;而WO3-SnO2双层结构对低浓度甲苯气体敏感,甲苯气体浓度为150×10-6时元件的灵敏度为16,大于该元件对乙醇气体的灵敏度。

关 键 词：气敏元件 二氧化锡 双层厚膜 甲苯 

分 类 号：TB33[一般工业技术—材料科学与工程]