双轴集成加速度计结构设计  

作　　者：曹延磊[1] 丁兰[1] 

机构地区：[1]无锡科技职业学院,江苏无锡214028

出　　处：《科技资讯》2015年第21期59-60,62,共3页Science & Technology Information

摘　　要：该文基于一种集成CMOS MEMS加工方式上,设计了一个双轴平面内加速度计。加速度计结构呈对称结构,有一个主体质量块、四个小质量块、8个弹簧和感应电极组成。理论上此加速度计可以提供X和Y方向相同的检测灵敏度。

关 键 词：加速度计 MEMSPost CMOS 

分 类 号：V241.4[航空宇航科学与技术—飞行器设计]