半导体专用设备的电气控制柜设计研究  

Electronic Cabinet Design Research of The Semiconductor Equipment

作　　者：赵立华[1] 任晓庆[1] 杨晓静[1] 杨松涛[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《电子工业专用设备》2015年第11期50-56,共7页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：对电气控制柜的整体到局部进行了全方面描述,如总体配置的设计、关键组成模块的原理和接线图设计,乃至控制柜的工艺和人机工程设计等。对于推动半导体专用设备的标准化、系列化研制具有重要作用。This paper totally introduce the electronic cabinet , for example, overall layout,electronic diagram and wiring diagram of key modules ,procedure and Man-Machine engineering design etc. It can well improve standardizing and series development of semiconductor equipment.

关 键 词：专用设备 控制柜 原理与接线图 人机工程 

分 类 号：TN705[电子电信—电路与系统]