一种氦质谱检漏仪的空气定标方法的研究  

A Study of Method of Air Calibration for Helium Mass Spectrometer Leak Detector

作　　者：陈然 黄文平 

机构地区：[1]安徽皖仪科技股份有限公司,安徽合肥230088

出　　处：《中国仪器仪表》2015年第12期28-30,共3页China Instrumentation

摘　　要：提出一种氦质谱检漏仪在吸枪法检漏时,在没有氦标准漏孔的环境下,用空气完成氦质谱检漏仪的吸枪定标。并对这种方法进行探讨、分析。This paper proposes and analyzes a method that helium mass spectrometer leak detector using air to complete calibration in sniffer mode without standard leak.

关 键 词：氦质谱检漏仪 吸枪定标 空气 标准漏孔 

分 类 号：TB774.3[一般工业技术—真空技术]