内壁表面微结构加工技术的发展与应用  

Development and application of wall surface micro-machining technology

作　　者：孙涛涛[1] 于兆勤[1] 吴明[1] 王冠[1] 

机构地区：[1]广东工业大学机电学院,广州510006

出　　处：《现代制造工程》2015年第12期147-152,共6页Modern Manufacturing Engineering

基　　金：国家青年科学基金资助项目(51205066);广东省自然科学基金资助项目(s2012010009022)

摘　　要：针对现有的内壁表面微结构加工方法进行论述,分析了各种工艺方法的优点及其存在的问题,对内壁表面微结构的应用进行了简要说明。在此基础上提出了用微细电解加工技术对微管内壁表面进行微结构加工,并且分析了内壁表面微结构的发展趋势。Conducted for an existing wall surface micro-machining methods discussed,analyzed the merits of various processes and problems of the method,the applications of the inner wall surface microstructure are briefly described. On this basis proposed by electrochemical micromachining technology for micro-tube wall surface micro-machining,and analyzes the development trend of the inner wall surface microstructure.

关 键 词：微细电解 微结构 螺旋电极 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化]