半导体涂胶显影机产能分析  

作　　者：郑春海[1] 许凯[1] 

机构地区：[1]沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳110168

出　　处：《中国高新技术企业》2016年第4期71-72,共2页China Hi-tech Enterprises

摘　　要：中国半导体行业发展越来越快,半导体设备的产能,即晶圆传送方法的研究在半导体装备研制的过程中的作用愈加关键。涂胶显影设备更需传片方法来指导装备的布局设计,提高装备产能,满足不同的严苛需求。文章根据半导体装备发展的历程,给出一般装备的产能计算公式,同时对未来晶圆传送方法提出了建议。

关 键 词：半导体 半导体设备 涂胶显影机 晶圆传送方法 产能计算 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]