扫描探针显微技术及其精密工程应用  

Applications of scanning probe microscopy and precision engineering

作　　者：丁力[1] 

机构地区：[1]成都理工大学核技术与自动化工程学院,四川成都610059

出　　处：《橡塑技术与装备》2015年第24期138-139,145,共3页China Rubber/Plastics Technology and Equipment

摘　　要：本文首先简单介绍了SPM自身的一些基本关键技术,阐述了其精密工程的应用,重点指出了纳米级加工机理的研究在一定的程度上依赖于SPM的多功能化和复合化。

关 键 词：扫描探针显微技术 精密工程 应用 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]