9产品名称:90—65nm大角度离子注入机  

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出  处:《电子工业专用设备》2016年第2期49-50,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:研制单位: 北京中科信电子装备有限公司 产品介绍: 90~65nm大角度离子注入机是“十一五”期间实施的“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”国家科技重大专项中的项目之一。该设备分为束线、靶室、电气、辅助、控制5大系统,共82个子系统,

关 键 词:离子注入机 大角度 产品名称 大规模集成电路 “十一五” 研制单位 电子装备 产品介绍 

分 类 号:TN305.3[电子电信—物理电子学]

 

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