h-BN和石墨烯薄膜在AlN衬底的导热增强效应  

作　　者：万红兵[1] 任岳[1] 

机构地区：[1]重庆师范大学物理与电子工程学院,重庆400047

出　　处：《山东工业技术》2016年第7期27-28,共2页Journal of Shandong Industrial Technology

摘　　要：通过磁控溅射和化学沉积方法在Al N衬底上分别制备六方氮化硼和石墨烯薄膜,利用Raman、SEM对薄膜物相和形貌进行表征,并使用激光导热测定仪进行导热系数测定。实验结果表明,石墨烯能有效提高基底的导热性能,为石墨烯散热提供有效数据。

关 键 词：磁控溅射 六方氮化硼薄膜 石墨烯 导热系数 

分 类 号：TQ128.1[化学工程—无机化工] TQ127.11