接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定度评定  

作　　者：刘兆平[1] 花严红[1] 李振[1] 

机构地区：[1]九江职业技术学院,江西九江332007

出　　处：《精密制造与自动化》2016年第1期50-52,共3页Precise Manufacturing & Automation

摘　　要：接触式干涉仪在各科研院所、企业、高校等单位广泛使用,接触式干涉仪的测量准确度与温度、湿度等环境因素以及测量人员使用的测量方法和测量水平均有关系,在频繁使用的情况下,势必会受到影响,此时应按照国家管理规范要求对接触式干涉仪进行定期检定,以确保检测数据的权威性,而检定过程中非常重要的一个环节即是对其示值误差的测量结果进行不确定度的评定。根据实际工作经验就接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定度评定按照规范要求进行了计算与分析,分析过程和结果均可作为不确定度评定时的依据和参考。

关 键 词：接触式干涉仪 示值误差 不确定度评定 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]