硅氧合金薄膜结构光电特性及其在硅基薄膜太阳电池中的应用  

Microstructure and optoelectrical characteristics of silicon suboxide film and its application in silicon thin film solar cell

作　　者：方旭阳[1,2] 王维燕[1] 段娟梅 李红江[1] 黄金华[1] 高琛[2] 宋伟杰[1] 

机构地区：[1]中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波315201 [2]中国科学技术大学纳米科学技术学院,苏州215123

出　　处：《中国科学：技术科学》2016年第3期213-224,共12页Scientia Sinica(Technologica)

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金(批准号:61404143);宁波市自然科学基金(批准号:2014A610039)资助项目

摘　　要：硅薄膜合金化可调控硅基薄膜的光学带隙、折射率等特性,是提高硅基薄膜太阳电池性能的重要途径之一.硅氧合金薄膜是由富硅相和非晶富氧相组成的双相体系,具有高电导、宽带隙、低折射率等特性,可用于硅基薄膜太阳电池的吸收层及辅助层,提高太阳电池的性能,是近期硅基合金薄膜的研究热点.本文将概述硅氧合金薄膜的微观结构、光电特性,及其在硅基薄膜电池窗口层、吸收层、中间反射层、背反射层等的应用.Silicon film alloying can adjust the bandgap and reflective index of silicon film, thus it is an important material for improving solar cell performance. Mixed-phase silicon suboxide film, with the properties of high conductivity, high bandgap, and low refractive index, has been widely used as the intrinsic and doped layers in p-i-n silicon thin film solar cell. In this paper, we review the microstructure, optical and electrical characteristics of silicon suboxide films, and also its role as the window layer, absorber layer, intermediate reflector, and back reflector in silicon thin film solar cell.

关 键 词：硅氧合金薄膜 宽带隙 窗口层 吸收层 反射层 太阳电池 

分 类 号：TM914.42[电气工程—电力电子与电力传动]