512×512元帧转移EMCCD图像传感器  

A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels

作　　者：白雪平[1] 郑渝[1] 李金[1] 刘芳[1] 陈于伟[1] 汪朝敏[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十四研究所,重庆400060

出　　处：《红外技术》2016年第4期300-304,共5页Infrared Technology

摘　　要：采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件。器件的像元尺寸16μm×16μm。器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×10^(-4) lx。By using burried channel, triple-layer polysilicon, double-layer metal process, a frame transfer EMCCD image sensor with 512×512 pixels has been successfully developed in domestic for the first time. The pixel size is 16 μm×16 μm. At-20℃ and pixel readout frequency of 10 MHz, the gain of 1000 can be achieved, and detection sensitivity reaches 5×10^（-4） lx.

关 键 词：EMCCD 帧转移 倍增增益 探测灵敏度 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]