福建物构所发现新型无铍深紫外非线性光学晶体材料  

作　　者：新型 

出　　处：《化工新型材料》2016年第4期10-10,共1页New Chemical Materials

摘　　要：深紫外激光由于波长短、加工精度高的优点,在半导体光刻、激光光电子能谱仪和激光切割等方面具有重要应用。目前,KBe_2BO_3F_2（KBBF）是唯一能实际输出深紫外激光的非线性光学（NLO）晶体,但是,KBBF含剧毒铍元素且其晶体层状生长习性严重。

关 键 词：非线性光学晶体 紫外激光 半导体光刻 激光切割 光电子能谱仪 生长习性 加工精度 于波 相位匹配 杰出青年基金 

分 类 号：O734[理学—晶体学]