高效径向结纳米线太阳能电池的制备工艺研究  

作　　者：孙肖林[1] 李路[1] 丁臻昱 王天驰[1] 

机构地区：[1]三江学院电子信息工程学院

出　　处：《电子世界》2016年第13期194-195,共2页Electronics World

摘　　要：本文利用纳米线结构构建了径向结非晶硅薄膜太阳能电池,充分发挥了径向结结构"陷光效应"、共振耦合、降低衰减等优势,并对传统的平面结构的太阳能电池制备工艺加以改进,制备出高效径向结硅纳米线太阳能电池。

关 键 词：径向结 太阳能电池 金属热蒸发 等离子增强化学气相沉积(PECVD) 半导体透明导电膜ITO蒸镀 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]