应用材料公司选择性材料技术带来蚀刻工艺新突破  

出　　处：《电子工业专用设备》2016年第7期51-52,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：应用材料公司近期取得了蚀刻技术的新突破，推出业内首款极致选择性蚀刻工具Applied Producer Selectra^TM系统，通过引入全新的材料工程能力，助力3D逻辑芯片和存储芯片的尺寸持续缩小。

关 键 词：应用材料公司 蚀刻工艺 材料技术 PRODUCER 蚀刻技术 工程能力 存储芯片 逻辑芯片 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]