分子泵转速对氦质谱检漏仪灵敏度的研究  被引量:3

Research on Molecular Pump Rotating Speed on Helium Mass Spectrometer Leak Detector Sensitivity

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作  者:黄文平 

机构地区:[1]安徽皖仪科技股份有限公司,安徽合肥230088

出  处:《中国仪器仪表》2016年第9期29-31,共3页China Instrumentation

基  金:国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ130429)

摘  要:从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论分子泵转速对氦质谱检漏仪检测结果的影响,并分析产生这种结果的原因。From the leakage detection process of the contra-flow helium mass spectrometer leak detector, the influence of molecular pump speed on helium mass spectrometer leak detector detection results and the causes of the results are discussed in the article.

关 键 词:分子泵转速 氦质谱检漏仪 漏率信号压缩比 

分 类 号:TB774.3[一般工业技术—真空技术]

 

参考文献:

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