低阈值连续波工作的2.9 THz量子级联激光器  

Fabrication of continuous-wave-work 2.9 THz quantum cascade laser with low threshold

作　　者：蒋涛[1,2] 湛治强 沈昌乐[1,2] 杨宁[2,3] 邓青华[1,2] 王雪敏[1,2] 楚卫东[2,3] 吴卫东[1,2] 段素青[2,3] 唐永建[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,四川绵阳621999 [2]中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心,四川成都610200 [3]北京应用物理与计算数学研究所,北京100088

出　　处：《太赫兹科学与电子信息学报》2016年第5期657-660,667,共5页Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology

基　　金：中国工程物理研究院重点实验室基金资助项目(9140C680106150C68295);中国工程物理研究院发展基金资助项目(2015B0403095)

摘　　要：为了获得低阈值连续波工作太赫兹源,采用固源分子束外延技术生长了Ga As/Al Ga As束缚态向连续态跃迁的太赫兹量子级联激光器(QCL)有源区,基于半绝缘-等离子体波导工艺制作了太赫兹量子级联激光器。获得了激光器(腔面未镀高反射膜)的发射光谱和相应的输出特性等性能,其中器件在10 K工作温度、350 m A激励电流下的中心频率为2.93 THz,连续波工作模式的阈值电流密度为156 A/cm2,器件的最大光输出功率为7.84 m W,最高工作温度为62 K。In order to obtain low threshold and continuous-wave-work THz source, a terahertz Quantum Cascade Laser（QCL） based on bound-to-continuum intersubband transition is fabricated with semiconductor-plasma waveguide. Then the QCL properties are systematically studied. The lasing frequency is determined to be 2.93THz and the device shows a Continuous Wave（CW） output power〉7.8mW, with a threshold current density 156A/cm2, lasing work temperature up to 62K.

关 键 词：太赫兹 量子级联激光器 连续波 波导 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学]