微小回转结构微细电火花线切割加工工艺研究  

Study on Micro WEDM Processing of Micro Rotary Structures

作　　者：赵旭辉[1,2] 陈祥[1,2] 王玉魁[1,2] 王振龙[1,2] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《电加工与模具》2016年第5期28-31,46,共5页Electromachining & Mould

基　　金：国家科技重大专项资助项目(2014ZX04001111);国家自然科学基金资助项目(51105111);哈尔滨市科技创新人才项目(2012RFXXG038)

摘　　要：在分析微细电火花线切割加工回转结构所需工艺条件的基础上,搭建了循环往复走丝微细电火花线切割回转结构加工系统,进行了方电极和微细金字塔阵列结构的微细电火花线切割加工基础实验。在加工过程中,根据切割厚度对微细金字塔阵列结构加工精度的影响,设计加工了阶梯型工件进行分析验证,总结了切割厚度对放电间隙补偿的影响规律。This paper set up a hardware system rotary structure manufacturing on the basis of analyzing the process of machining rotary structures by micro WEDM. The micro WEDM fundamental experiments of machining square electrode and micro pyramid array structure are conducted. According to the influence of machining thickness on the accuracy of micro pyramid array structure, the step type workpiece is designed for analysising,the influence of machining thickness on the discharge gap is discussed.

关 键 词：微细电火花线切割加工 回转结构 放电间隙补偿 

分 类 号：TG661[金属学及工艺—金属切削加工及机床]