自适应MEMS加速度计滤波算法  

Adaptive filtering algorithm of MEMS accelerometer

作　　者：赵阳[1,2] 娄小平[1,2] 刘锋[1,2] 李伟仙[1,2] 

机构地区：[1]北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室,北京100192 [2]北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心,北京100192

出　　处：《传感器与微系统》2016年第11期120-122,127,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51475047);教育部"长江学者与创新团队"发展计划资助项目(IRT1212);北京市属高等学校创新团队建设提升计划资助项目(IDHT20130518)

摘　　要：简要分析了微机电系统(MEMS)加速度计使用模型中的噪声来源,介绍了一种自适应平滑滤波器的设计方法,通过增设滤波阈值来调节滤波系数,实现了对MEMS加速度数据的动态降噪处理。实验结果表明:自适应平滑滤波器能有效抑制加速度计输出信号中的高频噪声,滤波前噪声信号均方根误差为2.32×10^(-5)m/s^2,经过滤波后,噪声信号均方根误差为4.79×10^(-7)m/s^2,提高了加速度计的测量精度,取得了良好的滤波效果。Aiming at noise reduction requirements of micro-electro-mechanical system（ MEMS） accelerometer,source of noise in model for MEMS accelerometer is briefly analyzed,and design method of adaptive smoothing filter is introduced,adjust filtering coefficients by adding filtering threshold,dynamic noise reduction is realized.Experimental results show that the adaptive smoothing filter can effectively suppress high frequency noise in output signal of accelerometer and error of root mean square of noise signal before filtering is 2. 32 × 10^（- 5）m/s^2,and it is reduced to 4. 79 × 10^（-7）m/s^2 after filtering,and measurement precision of accelerometer is improved,and obtain good filtering effect.

关 键 词：微机电系统(MEMS)加速度计 自适应平滑滤波器 滤波系数 动态降噪 

分 类 号：TN713.7[电子电信—电路与系统]