PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究  

作　　者：刘硕[1] 

机构地区：[1]重庆大学,重庆市400044

出　　处：《电子技术与软件工程》2016年第22期120-120,共1页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

摘　　要：PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器的制作主要采用了陶瓷胚胎流延成型和一定的金属内极电共烧的技术,具有体积小、工作电压低,且位移量大等方面的特点。本文通过对PZT概念以及试验的方法整理研究,对PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能的实验进行了科学的研究。

关 键 词：PZT 压电陶瓷微驱动器 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术] TM282[机械工程—精密仪器及机械]