“中国激光微纳加工技术大会”在苏州圆满召开  

作　　者：陈长军 

出　　处：《表面工程与再制造》2016年第5期51-51,共1页Surface Engineering & Remanufacturing

摘　　要：激光微纳加工是通过激光与材料相互作用，改变材料的物态和性质，实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端，而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造，其制造复杂结构的能力与品质远高于传统制造，由此产生了一批新技术（如光刻、近场纳米制造、干涉诱导加工、微焊接等）、一批新产品（如大规模集成电路、MEMS／NEMS等）、一批产品的高性能化（如航空发动机、燃气轮机、太阳能电池等）和相应的高新技术产业群。

关 键 词：微纳加工技术 激光 高新技术产业群 大规模集成电路 制造过程 苏州 中国 航空发动机 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化]