铜及其合金无黄烟化学抛光  

作　　者：王文忠 

机构地区：[1]洛阳立微电子有限公司,河南洛阳471003

出　　处：《电镀与环保》2016年第6期57-58,共2页Electroplating & Pollution Control

摘　　要：0前言 化学抛光可提高铜及其合金制件的光亮度。传统的化学抛光是在浓硫酸一硝酸一盐酸中进行的，其中硝酸的体积分数高达400-500mL／L，抛光时有大量氮氧化物气体逸出，不仅严重污染环境，而且危害人体健康。多年来，许多同行探索低硝酸或无硝酸化学抛光工艺，即无黄烟化学抛光工艺，取得了成效。

关 键 词：化学抛光工艺 无黄烟 合金 高铜 体积分数 气体逸出 氮氧化物 污染环境 

分 类 号：TG175[金属学及工艺—金属表面处理]