泰克推出Keithley S540功率半导体测试系统  

出　　处：《电子测量技术》2016年第10期5-5,共1页Electronic Measurement Technology

摘　　要：全自动高速晶圆级参数测试解决方案面向最新的功率半导体器件,包括高达3kV的SiC和GaN2016年10月27日,泰克科技公司日前推出Keithley S540功率半导体测试系统,这是为高达3kV的功率半导体器件和结构提供的一种全自动48针参数测试系统。全集成S540是为用于最新复合功率半导体材料而优化的,包括金刚砂（SiC）和氮化镓（GaN）,可以在一个探头接入中执行所有高压测试、低压测试和电容测试。

关 键 词：功率半导体 KEITHLEY S540 测试系统 晶圆级 测试解决方案 氮化镓 高压测试 参数测试 为高 吉时利 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]