检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:本刊资料室
出 处:《物理通报》2016年第12期128-128,共1页Physics Bulletin
摘 要:由中科院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”11月11日通过验收,并制造出世界最大面积中阶梯光栅.这标志着我国大面积高精度光栅制造中的相关技术达到国际领先水平.衍射光栅是一种纳米精度周期性微结构的精密光学元件,在光谱学、天文学、激光器、光通讯、
关 键 词:中阶梯光栅 最大面积 世界 中科院长春光机所 精密光学元件 周期性微结构 国际领先水平 衍射光栅
分 类 号:TN25[电子电信—物理电子学]
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