FTO薄膜制备技术研究进展  

Research Development on Preparation of FTO Thin Film

作　　者：郁建元[1,2] 王立坤[1] 王丽[1] 宋玉嘉 赵洪力[1] 

机构地区：[1]燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛066004 [2]唐山学院环境与化学工程系,唐山063000

出　　处：《人工晶体学报》2016年第11期2645-2649,共5页Journal of Synthetic Crystals

基　　金：国家重点研发计划(2016YFB0303902-02);河北省应用基础研究计划重点基础研究(13961106D);唐山市科技支撑计划项目(15110205a)

摘　　要：本文首先对FTO薄膜的特性和应用进行简明陈述,之后对薄膜的制备方法,包括溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,最后对FTO薄膜的制备技术改进及FTO理论设计研究前景进行了展望。Firstly,the characteristics and applications of FTO thin film were introduced briefly in this paper.Then,the preparation methods and research progresses of FTO thin film,such as sol-gel,magnetron sputtering,chemical vapor deposition and spray pyrolysis method,were overall reviewed.Finally,the perospect of synthesis technology and theoretical design of FTO thin film were discussed.

关 键 词：FTO薄膜 制备方法 进展 

分 类 号：TQ174[化学工程—陶瓷工业]